・高性能
材質はSUS316L（TLFシリーズ）、SUS316（SHFシリーズ）を使用しています。
低圧ラインフィルター（TLFシリーズ）はエレメントにテフロンメンブランを使用しており、
孔径の均一化により表示除去粒径よりも小さなパーティクルを高効率で捕捉します。

・機密性
接続部は全部分溶接構造の採用により、
Heリーク量　1.3×10－10Pa・m3/sec以下を保証いたします。

・内面研磨
低圧ラインフィルター（TLFシリーズは標準で内面を研磨処理し、より高い清浄度でガス供給することが可能です。

・小型軽量
軽量コンパクトで配管スペースを小さくできます。

半導体材料ガス、分析用ガスなど高純度、高清浄度保持の必要なガスラインに適しています。

・低圧ラインフィルター

・高圧ラインフィルター　※特殊仕様での製作も可能ですのでお問い合わせください。